Anna: Lektüre. Stufe 3 by Klara, Theo

By Klara, Theo

Show description

Read Online or Download Anna: Lektüre. Stufe 3 PDF

Best german_3 books

Extra resources for Anna: Lektüre. Stufe 3

Sample text

Steigt die Temperatur tiber diese Grenze, so fallt die KomgroBe drastisch auf etwa 0,1 11m ab und wachst dann mit zunebmender Temperatur an. Dabei flillt die Komgr/jBe mit wachsendem Ionisationsgrad X auf kleinere -41- Werte abo Eine Abhiingigkeit von der Ionenenergie ist in diesem Energie- und Temperaturbereich nicht zu beobachten. In dieser Zone Iiegt ein athermisches Komgrenzenwachstum vor. Die Rauhigkeit R der Schichten steigt mit wachsender Temperatur zu groBeren Werten an. FUr eine Ausgangstemperatur des Substrats von 300 K fallt sie zuniichst mit wachsendem FluBionisationsgrad X und wachsender Ionenenergie E; auf kleinere Werte ab und steigt danach wieder an.

Dem zu Foige kann der F1uBionisationsgrad X (Quotient aus IonenfluB und GesamtteilchenfluB) zwischen 1% und 30% durch Anderung der Tiegelposition beliebig eingestellt werden, wobei dieser umgekehrt proportional zur Verdampfungsrate ist. Die Ionenenergien Ei Iiegen zwischen 2,6 und 8,9 eV ohne Bias-Spannung und bis zu 150 eV mit Bias-Spannung. 2 Pa), gleichmilBig im gesamten Kammervolumen aus. B. die Haftfestigkeit, die Struktur, aber auch die thermische Belastung des Substrats weitgehend eingestellt werden [Ehrich 88a-c).

Durch den Beschu13 der wachsenden Schicht mit energetischen lonen besitzt die Schicht bereits nach der KoaIeszenz, die bei etwa 4 nm eintritt, Festkorperdichte. Insbesondere fiir die Beschichtung von Kunststoffen ist dies von Bedeutung, da hier nicht die Substrattemperatur erhoht werden kann, urn eine dichte Schicht zu erzeugen. Die hohe Packungsdichte ist hier auf einen Beschu13 der Schicht mit energetischen Teilchen zuriickzufiihren. ZweidimensionaIe, molekular-dynamische Simulationen des Schichtwachstumsprozesses zeigen diese Zunahme der Packungsdichte mit wachsendem Ei und X [Miiller 87a] auf.

Download PDF sample

Rated 4.78 of 5 – based on 11 votes